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st意法?半導體的尺寸與管理器材
作者：admin 發(fā)布時間：2020-11-04 17:38:43 點擊量：
st意法作為制備半導體器件的紐帶技能之一將制約著半導體職業(yè)的開展和半導體器件的機能。跟著半導體工業(yè)的開展，集成電路的特征尺寸越來越小，光刻技能將面對新的應戰(zhàn)。分析了激光光刻技能，包括投影式光刻和激光無掩膜光刻技能的研究現(xiàn)狀，著重介紹了極紫外光刻作為下一代光刻技能的開展前景和技能難點、激光無掩膜光刻技能的開展，特別是激光近場掃描光刻、激光干與光刻、激光非線性光刻等新技能的最新進展及其在高分辨率納米加工領域的使用前景。
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